2024-10-14
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硅片是現代電子產業的核心材料,廣泛應用于集成電路、太陽能電池、MEMS等領域。硅片(wafer)的生產工藝對其質量、性能和后續的應用至關重要。硅基集成電路工藝中,硅片的純度、摻雜濃度、晶體結構等參數會直接影響到器件的性能。在硅片生產中,最常用的兩種工藝是直拉法(Czochralski,簡稱CZ法)和區熔法(Float-Zone,簡稱FZ法)。 一、硅材料的基礎知識 在討論硅片生產工藝之前,我們先了解一下硅材料的基本特性。硅是半導體工業中最常用的材料,因為它具有以下優點:
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