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六、分步重復光刻機

這一類大體包含了半導體制造用的高端光刻機。從下圖可見，最近兩年，我國進口光刻機金額大幅度增加，尤其是去年下半年開始的一年。這個明顯和SMIC的擴產有著明顯關系

而從進口來源國家地區來看，我們的進口高端光刻機基本都是來自于荷蘭和日本，其中荷蘭一國占據86.2%

七、其他投影繪制電路圖裝置

其它的光刻設備的進口量在近幾年內整體變化不大。進口來源地也主要來自荷蘭和日本，但日本的份額相對略有增加

八、等離子體干法刻蝕機

等離子刻蝕設備的進口量總體變化不大。仔細確認，可以看出在2018年起，開始有所增加，但之后基本持平

從進口來源地來看，主要還是美國和日本為主。韓國也有一些份額，我個人猜測是SEMES的刻蝕設備，主要應該是供應國內三星工廠

九、其他刻蝕及剝離設備

其它刻蝕設備應該主要以濕法為主。其進口量在2018年上半年和2019下半年各有一個小高潮

來源地上，主要是日本和韓國。日本有世界濕法設備排名第一的供應商DNS，而韓國應該主要是SEMES

十、其他機器及裝置

半導體設備的分類很多，遠遠不止海關歸類的前面9種，所以還有很多被分類到了其它之中。這塊的進口金額也不小

從數據上看，這類設備主要來自日本

綜合看來，我國三年半內進口的前道設備僅僅不到100億美金，相對于全球每年大幾百億美金的市場相比，是一個很小的數字

雖然需要考慮到海關定價和實際交易價格有一定差別，另外這些數據里沒有包含厚道封測設備，但這數字依然有些偏低

另外，我國的進口設備里美國、日本占據了主要份額，荷蘭占據主要光刻機份額。我國大陸對進口設備的依賴十分明顯

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