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第一類：通用與生產(chǎn)控制 (General & Production Control)

這是你在Fab里每天都會聽到、用到，無論在哪個部門都必須懂的基礎(chǔ)詞匯。

1. Fab (晶圓廠)

• 解釋：Fabrication Plant的簡稱，就是我們整個制造工廠。

• 要點(diǎn)：不同的Fab有不同的代號（如Fab A, Fab B）和技術(shù)節(jié)點(diǎn)。

2. Cleanroom (無塵室)

• 解釋：我們進(jìn)行芯片制造的核心區(qū)域。空氣經(jīng)過高效過濾，對塵埃粒子（Particle）有極其嚴(yán)格的控制。

• 要點(diǎn)：為什么要穿無塵服（Bunny Suit）？因?yàn)槿梭w是最大的污染源。空氣中一個微小的塵埃落在晶圓的關(guān)鍵區(qū)域，就可能導(dǎo)致整個芯片報廢。無塵室有等級之分，如Class 1、Class 10，數(shù)字越小代表越潔凈。

3. Lot (批次)

• 解釋：生產(chǎn)的基本單位，通常是一盒（A Cassette / FOUP）晶圓，標(biāo)準(zhǔn)數(shù)量是25片。所有生產(chǎn)指令、數(shù)據(jù)追蹤都以Lot為單位。

• 要點(diǎn)：你會整天聽到“這個Lot跑到哪了？”、“查一下那個Lot的數(shù)據(jù)”。Lot ID是它的身份證號。

4. Wafer (晶圓)

• 解釋：制造芯片的基底，通常是高純度的硅片。我們所有的工藝步驟都是在這片圓形的“畫布”上進(jìn)行的。

• 要點(diǎn)：主流尺寸是8英寸（200mm）和12英寸（300mm）。尺寸越大，單片晶圓上能制造的芯片（Die）就越多，成本效益越高。

5. Yield (良率)

• 解釋：全公司最關(guān)心的指標(biāo)，沒有之一。 指的是一片晶圓上，通過所有測試的、合格的芯片（Good Die）數(shù)量占總芯片數(shù)量的百分比。

• 要點(diǎn)：良率直接決定了公司的盈利。我們所有工程師的工作，無論是工藝開發(fā)、設(shè)備維護(hù)還是流程優(yōu)化，最終目標(biāo)都是為了提升和穩(wěn)定良率。

6. SPC (Statistical Process Control / 統(tǒng)計(jì)過程控制)

• 解釋：一套監(jiān)控生產(chǎn)過程穩(wěn)定性的工具，最常見的就是控制圖（Control Chart）。

• 要點(diǎn)：當(dāng)你看到某個參數(shù)的SPC圖表“飄紅”或“報警”，意味著這個工藝步驟可能失控（OOC, Out of Control），需要立即處理，否則會影響整個Lot的良率。這是我們工程師的“儀表盤”。

第二類：核心工藝流程 (Core Process Flow)

這些術(shù)語描述了芯片制造的宏觀藍(lán)圖。

1. FEOL (Front-End-Of-Line / 前段工藝)

• 解釋：指在晶圓上制造出基本元器件（主要是晶體管）的過程。從裸硅片開始，到第一個金屬層（M1）之前的所有工序。

• 要點(diǎn)：這是芯片的“地基和主體結(jié)構(gòu)”，決定了芯片最核心的電學(xué)性能。包括隔離、柵極、源漏極等結(jié)構(gòu)。

2. BEOL (Back-End-Of-Line / 后段工藝)

• 解釋：在FEOL完成的晶體管之上，制造多層金屬連線（Interconnects）的過程。

• 要點(diǎn)：好比為一座建好的大樓鋪設(shè)復(fù)雜的電線、水管、網(wǎng)絡(luò)系統(tǒng)。這些連線負(fù)責(zé)將億萬個晶體管連接起來，形成完整的電路。

3. Process Flow / Route (工藝流程)

• 解釋：制造一個特定產(chǎn)品的完整“菜譜”，包含了從頭到尾幾百上千個詳細(xì)的工藝步驟。

• 要點(diǎn)：每個產(chǎn)品都有自己專屬的Process Flow。工程師的任何改動都必須經(jīng)過嚴(yán)格的驗(yàn)證，因?yàn)椤盃恳话l(fā)而動全身”。

4. Recipe (程序 / 配方)

• 解釋：針對某個特定工藝步驟，在某臺設(shè)備上執(zhí)行的具體參數(shù)設(shè)置。例如，一次刻蝕的Recipe會規(guī)定氣體流量、功率、壓力、時間等。

• 要點(diǎn)：Recipe是工藝流程的基本執(zhí)行單元，其穩(wěn)定性和準(zhǔn)確性至關(guān)重要。

第三類：關(guān)鍵工藝模塊 (Key Process Modules)

這是每個單元工藝工程師的專業(yè)領(lǐng)域，但作為新人，你需要了解每個模塊是干什么的。

1. Lithography (光刻)

• Photoresist / PR (光刻膠)：一種對特定光（如DUV、EUV）敏感的化學(xué)物質(zhì)，涂在晶圓表面。

• Mask / Reticle (光罩 / 掩膜版)：一塊刻有電路圖形的石英板，是光刻的“底片”。

• CD (Critical Dimension / 關(guān)鍵尺寸)：電路中最細(xì)的線條寬度，是衡量工藝先進(jìn)程度的關(guān)鍵指標(biāo)。我們經(jīng)常會用SEM去量CD。

• 核心任務(wù)：將電路設(shè)計(jì)圖“印刷”到晶圓上。

• 關(guān)鍵術(shù)語：

2. Etch (刻蝕)

• Dry Etch (干法刻蝕)：使用等離子體（Plasma）進(jìn)行刻蝕，方向性好，能刻出垂直的陡峭側(cè)壁。

• Wet Etch (濕法刻蝕)：使用化學(xué)液體進(jìn)行腐蝕，成本低，但通常是各向同性的（會側(cè)向腐蝕）。

• 核心任務(wù)：根據(jù)光刻留下的圖形，精確地“雕刻”掉不需要的材料層。

• 關(guān)鍵術(shù)語：

3. Thin Film (薄膜沉積)

• CVD (Chemical Vapor Deposition)：通過化學(xué)反應(yīng)在晶圓表面生成薄膜。

• PVD (Physical Vapor Deposition)：通過物理方法（如濺射）將靶材原子“打”到晶圓上，常用于沉積金屬。

• 核心任務(wù)：在晶圓上生長或沉積出各種材料層，如絕緣層（Oxide, Nitride）或?qū)щ妼樱∕etal）。

• 關(guān)鍵術(shù)語：

4. Implant / Diffusion (離子注入 / 擴(kuò)散)

• Dose (劑量)：注入離子的總數(shù)量。

• Energy (能量)：決定離子注入的深度。

• Anneal (退火)：一個高溫?zé)崽幚聿襟E，用于激活注入的雜質(zhì)并修復(fù)晶格損傷。

• 核心任務(wù)：將特定雜質(zhì)原子（如硼、磷）摻入硅晶格中，改變其導(dǎo)電屬性，形成N型或P型半導(dǎo)體。這是制造晶體管PN結(jié)的關(guān)鍵。

• 關(guān)鍵術(shù)語：

5. CMP (Chemical Mechanical Planarization / 化學(xué)機(jī)械拋光)

• 核心任務(wù)：像砂紙一樣，將晶圓表面打磨得極其平坦。

• 要點(diǎn)：為什么需要平坦？因?yàn)锽EOL要堆疊很多層，如果下一層不平，上面的光刻就無法精確對焦，整個芯片就廢了。CMP是實(shí)現(xiàn)多層金屬互連的關(guān)鍵技術(shù)。

第四類：量測與分析 (Metrology & Analysis)

這些術(shù)語關(guān)于我們?nèi)绾螜z查工作做得好不好。

1. Metrology (量測)

• 解釋：泛指所有在生產(chǎn)過程中的測量行為，比如測量薄膜厚度、CD尺寸等。

2. SEM (Scanning Electron Microscope / 掃描電子顯微鏡)

• 解釋：我們工程師的“眼睛”。用來拍攝晶圓上微觀結(jié)構(gòu)的高分辨率照片，用于檢查圖形、尺寸和形貌是否符合要求。

3. Defect (缺陷)

• 解釋：任何不應(yīng)該出現(xiàn)在晶圓上的東西，如Particle（顆粒）、Scratch（劃傷）、Pattern issue（圖形問題）等。

• 要點(diǎn)：專門的掃描設(shè)備會在每個關(guān)鍵步驟后檢查Defect，并生成Defect Map。分析這些缺陷是提升良率的重要工作。

4. WAT (Wafer Acceptance Test / 晶圓允收測試)

• 解釋：晶圓完成所有制造流程后的“期末考試”。通過探針臺測試劃片槽（Scribe Line）中的測試晶體管，獲取Vth、Id_sat等關(guān)鍵電學(xué)參數(shù)。

• 要點(diǎn)：WAT數(shù)據(jù)直接反映了我們整個工藝流程的最終成果。WAT飄了（參數(shù)超出規(guī)格），就是我們PIE工程師最頭疼的時刻，需要立刻啟動調(diào)查。

5. FA (Failure Analysis / 失效分析)

• 解釋：當(dāng)芯片失效或WAT參數(shù)異常時，進(jìn)行的“尸檢”工作。通過各種精密的物理和化學(xué)手段，層層剝繭，找到問題的根本原因（Root Cause）。

給新人的建議：

• 多看多問：在Cleanroom里，看到設(shè)備和晶圓時，主動把這些術(shù)語和實(shí)物對應(yīng)起來。大膽地向身邊的資深工程師或技術(shù)員請教。

• 關(guān)聯(lián)思考：不要孤立地記單詞。試著理解“光刻”定義了圖形，“刻蝕”實(shí)現(xiàn)了圖形，“CMP”是為了下一步更好的“光刻”。建立這種工藝鏈條的思維模式。

• 從數(shù)據(jù)開始：盡快學(xué)會看SPC圖和基本的WAT數(shù)據(jù)。數(shù)據(jù)是Fab里的通用語言，也是你未來工作的基石。

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